隨著電子設備主要用途的日益擴大,半導體材料對于我國的發展趨勢具有重要的現實意義。半導體材料廣泛應用于這一領域。根據生產制造原料和工藝流程的不同,廢水的廢水特性也不同,但都具有排水量大、環境污染治理能力強的特點,這嚴重威脅著生態環境保護的身心健康,也制約著其發展趨勢。
根據半導體材料制造廢水中污染物的特點,半導體材料廢水可以下三類:
1、含氟量廢水,廢水關鍵來自于半導體材料生產制造工藝流程的離子注入段,因為應用了很多的氫氧酸、氟化銨等實驗試劑,造成的環境污染如氯化物、氨氨等濃度較高廢水一般呈強酸堿性。
2、有機化學廢水,其環境污染化學物質主要是一些基本污染物質,生產制造濃度跟生產工藝流程及實際操作管理能力關聯很大,COD一般在200~3000mg/L。
3、金屬離子廢水,半導體材料廢水中的金屬離子類型諸多,關鍵如銅、鎳、錫、鉛、銀等,濃度一般在幾十mg/L。
近零排放系統采用Ryperm曲線微導力膜分離系統設計考慮水質波動情況,抗負荷沖擊強,納污性能好,能保證終端用水水質,整體工程集成化高,自動化程度高,既節省了系統占地,也減少運行維護人員,降低企業成本。具有回收率高,濃水排放少等特點。其工藝流程如下:
原水箱→原水泵→一體化凈水設備→多介質過濾器→Ryperm曲線微導力系統→收集水箱→用水點
近零排放系統根據用水點的用水需求,可以有效去除冷卻水中的硬度、微生物等有害成分,水回收率可以達到75%~90%。整套系統具有高效節水、環保省電的特點,整體工藝設計合理,利于用水體系的長期用水,且水質優良。